MIL-STD-490A (NOTICE 1), MILITARY STANDARD: SPECIFICATION PRACTICES (31 AUG 1995) [S/S BY MIL-STD-961]., MIL-STD-490A, dated 4 June 1985, is hereby canceled. Requirements for the preparation of program-peculiarspecifications have been incorporated into MIL-STD-961,"Department of Defense Standard Practice for DefenseSpecifications."
Product Code:SAE AMS5353
Title:Steel, Corrosion-Resistant, Investment Castings, 16Cr - 1.8Ni - 0.08N, as Cast
Issuing Committee:Ams F Corrosion Heat Resistant Alloys Committee
Scope:This specification covers a corrosion-resistant steel in the form of investment castings.
基本信息
| 标准名称： | 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 |
| 英文名称： | Test method for measuring resistivity of silicon wafers using spreading resistance probe |
| 中标分类： |
冶金 >>
金属理化性能试验方法 >>
金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
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| 替代情况： | 替代GB 6617-1986;被GB/T 6617-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1995-04-18 |
| 实施日期： | 1995-01-02 |
| 首发日期： | 1986-07-26 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 电子部标准化所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：12千字 |
适用范围
本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。本标准适用于测量晶体取向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量与衬底同型或反型的硅外延层的电阻率。测量范围：10-3~102Ω·cm。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法